dans l'en einte du bâti de pulvérisation préalablement sous vide. L'appliation d'une différen e de potentiel négative de l'ordre de la entaine de volt produit une décharge entre les électrodes onduisant à l'ionisation des atomes du gaz neutre, à leurs accélérations vers la athode ('est à dire la ile) et don à la ...
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